定价(元):20.00元
发布日期:2016/7/11
实施日期:2017/1/1
标准号:JC/T 2372-2016
标准名称:集成电路用石英舟
标准英文名称:Quartz boats for IC industry
标准状态:现行
ICS分类:81.040.30
中标分类:Q35
归口单位:全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC 447)
起草单位:上海强华石英有限公司、上海华虹宏力半导体制造有限公司、杭州大和热磁电子有限公司、久智光电子材料科技有限公司
起草人:高君、林红斌、杨军、吴长明、周利明、张葆青、周文华、白凤茹