定价(元):16.00元
发布日期:2014/10/14
实施日期:2015/4/1
标准号:JC/T 2243-2014
标准名称:等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管
标准英文名称:Quartz tube covered in a film for PECVD
标准状态:现行
ICS分类:81.040.30
中标分类:Q35
归口单位:全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC 447)
起草单位:上海强华石英有限公司、久智光电子材料科技有限公司、上海神舟新能源发展有限公司
起草人:张葆青、白凤茹、周文华、黄良吉、陈平