定价(元): | 16.00元 |
发布日期: | 2014/10/14 |
实施日期: | 2015/4/1 |
标准号: | JC/T 2243-2014 |
标准名称: | 等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管 |
标准英文名称: | Quartz tube covered in a film for PECVD |
标准状态: | 现行 |
ICS分类: | 81.040.30 |
中标分类: | Q35 |
归口单位: | 全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC 447) |
起草单位: | 上海强华石英有限公司、久智光电子材料科技有限公司、上海神舟新能源发展有限公司 |
起草人: | 张葆青、白凤茹、周文华、黄良吉、陈平 |